微焦点CT-半导体元器件X射线显微成像系统是一种基于X射线的成像技术,使用微型计算机断层扫描技术(Micro Computed Tomography)。包括扫描和重构两个主要部分,Micro/Nano 表明其分辨率可达到微米/亚微米级别。
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